新（改 、擴）建的半導體行業企業自本文件實施之日即2024年5月1日起執行 ；對於半導體行業企業擬自2024年10月1日起執行 。

適用的行業與範圍

本標準規定了半導體行業企業水和大氣汙染物排放控製要求 、監測以及標準的實施與監督等內容 ，適用於上海市範圍內半導體行業企業及研製線水和大氣汙染物的排放管理 ，以及新建 、改建 、擴建項目的環境影響評價 、環境保護設施設計 、竣工環境保護驗收 、排汙許可證核發及其投產後的水和大氣汙染控製與排放管理和半導體行業企業的汙染物排放許可管理 。

根據我國的《國民經濟行業分類》（GB/T 4754-2017） ，本標準適用的行業為3972半導體分立器件製造和3973集成電路製造 ，並包括這兩類半導體產品的封裝測試行業 。

水方麵 ，本標準設置了21項水汙染物控製項目 。其中 ，一類汙染物7項，同修訂前標準 ；二類汙染物14項 ，增加了石油類 、總氮 、總磷 、陰離子表麵活性劑4項常規因子及總鋅特征因子 ，刪除了BOD5 。

大氣方麵 ，本標準設置13個有組織大氣汙染物控製項目 ，新增氯氣 、氰化氫、錫及其化合物 、苯 、苯係物 、非甲烷總烴 、顆粒物和氮氧化物等8項 。設置了氰化氫 、氯氣 、氯化氫 、非甲烷總烴等4項指標的無組織控製限值 。其中有組織排放苯濃度限值為1mg/m³ ，總揮發性有機物濃度限值為60mg/m³ ，非甲烷總烴指標限值為50mg/m³ ；無組織排放非甲烷總烴指標應符合GB 37822的要求 ；無組織排放惡臭汙染物指標應符合DB31/1025的要求 。